分子式：C₄F₆
分子量：162
CAS 號：685-63-2

性 狀： 易燃、有毒、無色、無味的剛瓶裝液化壓縮氣體，吸入有害，與空氣混合后，濃度達到7%時，有立即燃燒和爆炸危險
用 途： 半導體的等離子蝕刻，優(yōu)良的干蝕刻氣體。含氟橡膠、合成含氟彈性體和電性能優(yōu)良的樹脂
貯 存： 貯存在陰涼通風處，容器保持密閉。貯存在原容器中的溫度不超過50℃。避免陽光直射。注意不要與氧化劑一起混貯。遠離煙火。
運 輸： 按照壓縮氣體和液化氣體有毒氣體標準運輸
包 裝： 10L或47L鋼瓶壓縮包裝， 或依客戶要求包裝